泵和電機可以從堅固的定排量齒輪泵或葉片泵到具有精細間隙 [表 1] 和高成本的精密可變排量柱塞泵。在許多情況下，泵可能是規(guī)劃過濾的關鍵因素。
9）控制放大器還含有對反應信號Uf和電壓差U的處置環(huán)節(jié)。比方狀態(tài)反應控制和PID調(diào)理等。
帶位置反應的滑閥式方向比例閥，其工作原理是:在初始狀態(tài)，控制放大器的指令信號UF=O，閥芯處于零位，此時氣源口Р與A、B兩端輸出口同時被切斷，A、B兩口與排氣口也切斷，無流量輸出，同時位移傳感器的反應電壓Uf=0。若閥芯遭到某種干擾而偏離調(diào)定的零位時，美國穆格MOOG伺服閥位移傳感器將輸出一定的電壓Uf，控制放大器將得到的U=-Uf放大后輸出給電流比例電磁鐵.電磁鐵產(chǎn)生的推力迫使閥芯回到零位。若指令Ue>0，則電壓差U增大，使控制放大器的輸出電流增大，比例電磁鐵的輸出推力也增大，推進閥芯右移。而閥芯的右移又惹起反應電壓ur的增大，直至Uf與指令電壓Ue根本相等，閥芯到達力均衡。此時。
Ue=Uf=KfX(Kf為位移傳感器增益)
上式標明閥芯位移×與輸入信號ue成正比。若指令電壓信號Ue<)，經(jīng)過上式相似的反應調(diào)理過程，使閥芯左移一定間隔。
閥芯右移時，氣源口Р與A口連通，B口與排氣口連通;閥芯左移時，P與B連通，A與排氣口連通。節(jié)流口啟齒量隨閥芯位移的增大而增大。上述的工作原理闡明帶位移反應的方向比例閥節(jié)流口啟齒量與氣流方向均受輸入電壓Ue的線性控制。
這類閥的優(yōu)點是線性度好，滯回小，動態(tài)性能高。
滑閥式二級方向伺閥
液壓伺服閥結構及工作原理
一、滑閥式伺服閥：
采用動圈式力馬達，結構簡單，功率放大系數(shù)較大，滯環(huán)小和工作行程大；固定節(jié)流口尺寸大，不易被污物堵塞；主滑閥兩端控制油壓作用面積大，從而加大了驅(qū)動力，使滑閥不易卡死，工作可靠。
噴嘴擋板式伺服閥：
該伺服閥，由于力反饋的存在，使得力矩馬達在其零點附近工作，即銜鐵偏轉角θ很小，故線性度好。此外，改變反饋彈簧桿11的剛度，就能在相同輸入電流時改變滑閥的位移。該伺服閥結構緊湊，外形尺寸小，響應快。但噴嘴擋板的工作間隙較小，對油液的清潔度要求較高。
射流管式伺服閥：
對油液的清潔度要求較低。缺點是零位泄漏量大；受油液粘度變化影響顯著，低溫特差；力矩馬達帶動射流管，負載慣量大，響應速度低于噴嘴擋板閥。
滑閥式伺服閥